AndTech　「EUVリソグラフィ技術～レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状～」の書籍を刊行

by azuma-shokai · 2023年5月23日

[AndTech]
[画像1: https://prtimes.jp/i/80053/440/resize/d80053-440-2cfc3c9637154f3fa1f0-3.jpg ]

書籍概要

テーマ：EUVリソグラフィ技術
　　　　～レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状～
…
Source: 国内旅行プレリリース

AndTech 「EUVリソグラフィ技術 ～レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状～ 」の書籍を刊行